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紫外光刻機(jī)

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紫外光刻機(jī)

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如有各類設(shè)備采購需求，請聯(lián)系專屬顧問。

項目介紹

工作原理：將設(shè)計的掩模圖形通過光刻機(jī)曝光轉(zhuǎn)移到涂有光刻膠的晶片上。

樣品要求

1.紫外光波長：365nm，曝光能量密度18-20mW/cm2可調(diào)

2. 樣品尺寸：6英寸及以下

3. 分辨率：接觸曝光＜0.5μm，接近式曝光≤1μm

4.對準(zhǔn)精度:＜1μm

項目案例

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安心測服務(wù)說明

7天無理由免費(fèi)復(fù)測

1. 復(fù)測保證

如果在訂單完成之后7天內(nèi)對結(jié)果存疑,可申請同條件免費(fèi)復(fù)測，更換條件或者參數(shù)不能參與免費(fèi)復(fù)測保障服務(wù)，全程由專業(yè)團(tuán)隊操作，確保結(jié)果有效性；

2. 具體細(xì)則

每單限1次復(fù)測機(jī)會，單次需小于5個樣品; 此外免費(fèi)復(fù)測樣品必須為同一樣，私人定制、云視頻測試不可享受此服務(wù)；

3. 注意事項

如果由于您自身樣品的情況(樣品有問題/選錯測試條件等)將不可享受此服務(wù)；

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