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項(xiàng)目介紹

電子探針顯微鏡（EPMA）又稱微區(qū)X射線光譜分析儀、X射線顯微分析儀。

1. 顯微結(jié)構(gòu)的分析：電子探針是幾個(gè)微米范圍內(nèi)的微區(qū)分析，能將微區(qū)化學(xué)成份與顯微結(jié)構(gòu)對(duì)應(yīng)起來，是一種顯微結(jié)構(gòu)的分析；

2. 元素分析范圍廣：能分析硼（B）～鈾（U）（原子序數(shù)：5~92）范圍內(nèi)的元素；

3. 定量分析準(zhǔn)確度高：電子探針的檢測極限（能檢測到的元素最低濃度）一般為0.01～0.05 wt%，能做輕元素、“痕量元素”以及重疊峰存在時(shí)的分析；

4. 分析速度快，不損壞樣品：新型電子探針在0.5 h左右完成樣品的分析，且分析完成后可以完好保存樣品；

5. 應(yīng)用范圍廣：廣泛用于冶金、地質(zhì)、生物和考古等領(lǐng)域。

樣品要求

1. 樣品尺寸：應(yīng)為塊狀或顆粒狀，其最大尺寸要根據(jù)不同儀器的樣品架大小而定，定量分析的樣品要均質(zhì)，厚度通常應(yīng)大于5 μm；

2. 具有較好的電導(dǎo)和熱導(dǎo)性能：金屬材料一般具有較好的導(dǎo)熱/導(dǎo)電性能，而硅酸鹽材料和其他非金屬材料一般導(dǎo)熱/導(dǎo)電性都較差，通常在這類材料表面均勻噴鍍一層20~400 ?的碳膜或鋁膜來增加樣品表面的導(dǎo)熱/導(dǎo)電性；

3. 樣品表面光滑平整：樣品表面必須拋光，保證其清潔平整，若樣品表面凸凹不平則可能使射出的X射線受到不規(guī)則的吸收。

項(xiàng)目案例

點(diǎn)掃

線掃

線掃數(shù)據(jù)

面掃

常見問題

1、EPMA中成分分析屬于能譜分析還是波譜分析？

EPMA成分分析使用的是波長色散譜儀（WDS），即屬于波譜分析。

2、SEM和EPMA的主要區(qū)別是？

SEM側(cè)重于形貌成像，EPMA更傾向于微區(qū)成分分析。

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