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背散射電子衍射裝置樣品標(biāo)準(zhǔn)以及具體分析功能
來源:測試GO 時(shí)間:2022-09-23 13:40:56 瀏覽:2615次

背散射電子衍射裝置(EBSD):是掃描電子顯微鏡(SEM)的附件之一,它能提供如晶間取向、晶界類型、再結(jié)晶晶粒、微織構(gòu)、相辨別和晶粒尺寸測量等完整的分析數(shù)據(jù)。EBSD數(shù)據(jù)來自樣品表面下10-50nm厚的區(qū)域,且EBSD樣品檢測時(shí)需要傾轉(zhuǎn)70°,為避免表面高處區(qū)域遮擋低處的信號(hào),所以要求EBSD樣品表面新鮮、清潔、平整、良好的導(dǎo)電性、無應(yīng)力等要求。

背散射電子衍射裝置展示圖

背散射電子衍射裝置樣品標(biāo)準(zhǔn)包括以下幾點(diǎn):

1.樣品尺寸大小不超過8X8mm,厚度不超過3mm,測試面需要表面光滑,沒有明顯劃痕;

2.若尺寸較大,請(qǐng)?zhí)崆熬€切割好,若需要我們線切割,需要額外收費(fèi);

3.送樣過程注意保護(hù)好測試面,避免劃傷;

 

EBSD具體分析功能

1、微觀組織分析:晶粒尺寸、均勻性、有沒有孿晶及孿晶的體積分?jǐn)?shù)、再結(jié)晶晶粒及亞晶、晶界特性分析、相鑒定及相分布等;

析思路:主要通過分析取向分布圖實(shí)現(xiàn),不同顏色晶粒代表不同的取向,晶粒形狀大小反映材料變形或再結(jié)晶情況,根據(jù)相鄰晶粒夾角確定晶界類型,并用不同的顏色將晶界表示出來;

2、取向分析:相鄰晶粒的取向分析,晶粒和相鄰孿晶的取向分析,孿晶及相鄰孿晶的取向分析,織構(gòu)分析、取向差分析;

分析思路:兩個(gè)相鄰晶??梢杂脷W拉角分析,極圖分析等,大范圍晶粒取向用極圖或反極圖分析。


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